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硅微机械陀螺仪设计技术

2000年 应用技术
  • 成果简介
硅微机械陀螺仪设计技术是20世纪九十年代才发展起来的面向21世纪的高新技术。硅微机械陀螺仪具有体积小、重量轻、成本低、可靠性高和动态范围大等特点。该项目创新点包括：微结构的有限元动力学分析、静电场分析和温度场分析；单自由度及双自由度微陀螺的机理、误差分析及结构设计；微陀螺的测控技术。...
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