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旋转涂覆和浸涂工艺制备MOO3陶瓷薄膜的比较

1998年 应用技术
  • 成果简介
以钼酸铵为原料，乙二醇为溶剂，用溶胶-凝胶法制备氧化钼薄膜。通过对干凝胶粉做DAT和TG分析，用SEM和X射线衍射对薄膜的显微结构和晶相组成进行分析，研究比较 了旋转涂覆和浸涂工艺对薄膜形态和结晶相的影响，浸涂工艺可得到连续致密的MoO,3>薄膜，而旋转涂覆工艺易得到不连续颗粒组成的MoO_3薄膜。...
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