首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

多功能等离子体浸没离子注入装置

1998年 应用技术
  • 成果简介
多功能等离子体浸没离子注入装置主要是用于金属、聚合物、半导体等材料的表面改性处理。该装置不仅能提供多种气体等离子体，还能提供多种金属等离子体，它能够有效地将离子注入、涂敷、溅射、沉积等现代表面改性处理手段有效地结合起来，从而显著提高材料表面特性。该项技术是离子注入技术的一个新发展，具有广阔的工业应用前景。技术指标：圆筒型不锈钢主真空室：Φ1000×12000；等离子体可以通过四组对称的 多灯丝组件...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统