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新型MEMS湿度传感器

2004年 应用技术
  • 成果简介
性能指标：
工作电压、频率：1.0±0.2VAC，1.0±10%kHz；
湿度量程：（不可接露）15%RH～95%RH；
湿滞回差：＜2%RH（25℃，10%～90%10%RH）；
响应时间：＜60秒（s)（25℃，63%）；
检测精度：-5%RH～+5%RH；
阻抗范围...
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