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高频六轴亚微米材料力学实验机

2005年 应用技术
  • 成果简介
该成果针对传统的力学试验机不能满足微机械等微小样品的测试需要，研究开发的一种用于微小样品的六轴力学性能测量装置，它包括精密工作台、六轴力传感器、加温箱和计算机控制系统。其中，六轴数控工作台由一个永磁式直线电机和5个直流伺服电机驱动，可实现0.1微米的位移分辨率与0.001度的转动分辨率，在Z向上使用PZT工作台、压电陶管或者电磁激振器配合直线电机，可实现10～2000Hz的疲劳加载频率；其...
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