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大面积光学级金刚石自支撑膜制备、加工及应用

2004年 应用技术
  • 成果简介
大面积光学级金刚石自支撑膜的制备和加工是近年来在CVD金刚石研究领域的最重要的技术进展之一。在军事和民用光学领域有非常重要的应用前景。本文综述了北京科技大学近年来在CVD金刚石膜光学应用领域的研究进展。给出了采用高功率直流电弧等离子体喷射（DC Arc Plasma Jet）CVD工艺制备大面积光学级金刚石自支撑膜的研究结果，并报道了对所制备的光学级金刚石自支撑膜的光学、力学（机械）、热学...
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