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φ2-3英寸外延用蓝宝石衬底晶体产业化生产关键技术

2005年 应用技术
  • 成果简介
课题突破氮化镓用大尺寸蓝宝石衬底材料制备技术和产业化关键技术，在提纯晶体生长原材料、改革工艺、改造设备等方面进行创新。在国际上首次采用氢气中感应加热钼坩埚提拉法生长蓝宝石晶体，降低了蓝宝石基片的成本；并使用电子束技术提纯原材料，保证低“杂质效应”的优质蓝宝石的质量；计算机自控上采用重晶体生长技术，明显提高了产品成品率。工艺上可生产优质的大尺寸蓝宝石晶体，并具备一定的生产规模，为工业和科学技...
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