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JD07少子寿命分析仪

2005年

应用技术

成果简介

JD07少子寿命分析仪解决了无损非接触测量硅材料和器件的少子寿命的技术问题，基于微波反射方法定波长测量样品的PCD曲线，理论上解决了表面复合寿命和体寿命的分离问题。研制的JD07太阳电池少子寿命分析仪实现了对太阳电池半导体材料和器件的少子寿命的测试，为太阳电池生产的工艺研究提供了一套在线分析检测手段；实现了少子寿命测试不重复度小于1.10%。该成果主要应用于太阳电池生产工艺线上和半导体太阳...

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