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DH2004型多功能等离子体实验装置

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　杭州大华仪器制造有限公司开发的“DH2004型多功能等离子体实验装置”利用频率为2.45GHz的微波激励稀薄气体放电，由微波源产生的频率为2.45GHz的微波，沿BJ22矩形波导管以TE10模式传输，为防止因负载匹配不当引起的反射波烧坏磁控管，在微波传输线上接入环行器和水负载，经过调整短路活塞，最后在水冷谐振腔反应室内激励气体形成轴对称的等离子体球，等离子体球的直径大小取决于真空沉积室中气体压...

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