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微机电系统所用材料结构的拉伸测试方法研究

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　该技术和仪器的发展，最早源于国家自然科学基金项目“微机电系统所用材料与结构的拉伸测试方法研究(2002～2004,10172086)”，后又获中国科学院十五装备建设项目“微型材料的力学性能检测与全场光学测量系统(2002～2004,SYLXSO9)”的进一步资助。该研究最早针对微机电系统(MEMS)的力学测试，该类器件的特征尺寸范围为1mm～1m。目前，研制的微力学测试仪器已广泛应用于微尺度低...

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