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微麦克风批量制造与实用化研究

2006年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
二十世纪八九十年代，传感器技术和微电子技术结合取得了惊人的进展，它通过微电子技术把传感器、微处理器、执行驱动器等集成于一个极小的几何空间内，形成所谓的集成微电子机械系统（简称微机电系统或MEMS，Micro-Electro-Mechanical System）。世界上各发达国家都以空前的热情，投入大量的人力物力进行了大量的研究。声学微机电系统与其它微机电系统一样，从八十年代末特别是九十年代...
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