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高精度纳米分辨率线位移测量技术研究

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　高精度纳米分辨率线位移测量传感器样机的研制成功，标志着我国在高精度线位移传感器研究与制造水平达到世界先进行列。它为我国的线位移传感器研究提供了一种新的思路和技术，应用此技术对我国纳米级位移测量与控制提供了先进的测量方法。利用衍射光干涉的纳米分辨率位移测量技术，光栅节距为测量基准，具有结构简单、成本低、抗环境因素干扰能力强等优点。作为纳米测量技术，在航天航空、精密仪器、超精密加工、微电子等行业领...
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