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电子聚合物NO_x气体传感器阵列技术研究

2006年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

电子聚合物NO_x气体传感器阵列是受国家863项目(2002AA325110)、教育部科学技术研究重点项目(104165)及中电科技集团公司预研项目（0241323030414）共同资助取得的成果。
其研究目的为：通过对集成气体传感器阵列的器件结构设计，将超分子薄膜技术与半导体工艺相结合，制备出具有一定功能的气体传感器阵列，并探索其工艺与其性能的关系。
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