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原子力显微镜的光点跟踪装置

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于原子力显微镜针尖扫描的光点跟踪装置,其构成是:所述的激光杠杆:包括激光器,在激光器出射的平行光束的前进方向上有反射镜,该反射镜配有调解装置,在反射镜的反射光线G的前进方向上依次是聚焦透镜和微悬臂针尖,该聚焦透镜的中心和微悬臂针尖的背面顶端同处于光线G的光轴上,且微悬臂针尖的顶端位于聚焦透镜的焦点,在微悬臂针尖的反射光线H的前进方向上依次是成像透镜和两维可调的四象限光电探测器;一xy...
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