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激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种激光尘埃粒子计数器的微型光学传感器，其特征在于其构成包括：在激光光源组件的光束前进方向上依次设有柱面镜、球面反射镜和光陷阱，该激光光源组件输出的椭圆形光束的截面的长轴方向与母线成一定角度φ；置于柱面镜右侧的球面反射镜，且使光敏感区和光电探测器光敏面的位置分别位于该球面反射镜球心附近的两侧，并满足几何光学的物象关系；置于光电探测器前面且与光敏感区形状相匹配的视场光阑；光电探测器采用高灵敏...
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