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高密度矩形深刻蚀石英透射光栅

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于高衍射效率透射800nm波段半导体激光或以800nm为中心波长的飞秒脉冲激光的高密度矩形深刻蚀石英透射光栅，其特征在于该光栅的线密度为1220-1270线/mm，光栅的深度为1.49-1.55微米，光栅的占空比为1/2。本发明可以同时使TE、TM偏振方向的+1级布拉格透射衍射效率实现高于90%的结果，本发明矩形刻蚀石英透射光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子光刻工艺加工...
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