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背入射式高密度石英反射光栅

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种用于常用波段1.55微米光纤通信的密度波分复用器件的背入射式高密度石英反射光栅（TIR光栅），本发明背入射式高密度石英反射光栅由光学全息记录技术或电子束直写装置结合微电子光刻工艺加工而成，可以低成本、大批量生产。...
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