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高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
一种高温金属舟及其镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法，该高温金属蒸发舟采用经900-1200℃高温退火处理后的钽片制作的，为长方舟，其尺寸和结构的比例关系为：蒸发舟的总长度，包括两翅片为（88±3mm），舟槽的长、深、宽分别为45±2mm，10±3mm，24±3mm，利用该蒸发舟镀制掺锡氧化铟透明导电膜的方法，包括真空镀膜的一般步骤，其特征在于其蒸发电流为150-200A，充氧量为12±2Sc...
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