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高精度大口径光学波面测量技术

2006年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
该成果建立了一套高精度、大口径的光学波面测量装置。利用数字干涉位相差放大法代替了全息光学位相差放大方法，并利用两次拍摄数字干涉技术来消除系统本底，从而无须常规干涉仪中必需的高精度标准平面，在普通的全息干涉装置上，而使测试精度达到了1/100波长的预定指标。该成果不但在我国的光学加工与测量领域有着巨大的市场潜力，在军事国防和前沿科学领域更有着迫切的需求。...
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