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微型硅压力传感器

2006年 应用技术
  • 成果简介
一、项目简介
压力传感器是目前敏感器件中应用最广、用量最大的器件,广泛应用在工业自动化、环保、航空航天、汽车工业、化工、医疗、大气和海洋测量等国民经济各领域和国防工业中,我国在压力传感器产品的研制、开发生产方面同国际先进水平还有相当差距,主要表现在产品的稳定性和可靠性较差,尚未达到工业化规模生产的阶段,因此成本高、生产效率低、无法同国外进口产品竞争,国内市场份额大部分被...
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