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双面光刻配版技术

1997年 应用技术
  • 成果简介
双面光刻配版技术采用的定位复印，用自对准方法。对经两面图形完全相同的同时刻的情况，用自制模架定位复印即可实现。两面图形不同，且不同时刻的情况，将之转化成前一种情况，即加辅助版和对准符。
1、全部按单面光刻制版，每面的一次版在图形外加完全一致的对准符合；
2、将反面版次少脑的一次版胶结在付架上（见图）；
3、将（2）定位复印在主架上...
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