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8cm多功能宽束离子源及其技术

1997年 应用技术
  • 成果简介
该宽速离子源可产生20～3000ev强流大面积离子束，用于离子束辅助镀膜、离子束溅射镀膜及离子束直接镀膜，现已用于光学薄膜的离子束辅助镀膜批量生产，类金刚石薄膜及固体润滑膜的制备，以及宇航轴承材料的表面强化等多种薄膜工艺，还可用于塑料镀膜及离子束刻蚀、清洗等微细加工工艺，还可用于离子注入机的工作清洗和离子反冲注入，使用时只需要镀膜配备一台宽束离子源，对其他零部件不必作任何更动，易于推广，更...
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