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砷化镓单晶抛光片表面状态的研究

1997年 应用技术
  • 成果简介
项目研究了砷化镓单晶片抛光中的动力学控制过程和吸附机理，提出单晶片表面吸附模型和优先吸附的数学模型，选用中性、无污染的过氧化氢作水溶胶液内的氧化剂，解决胶体聚沉、污染及表面损伤问题，国内领先。...
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