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等离子体增设化学气相沉积硬涂层（TiN，Tic等）技术

1997年 应用技术
  • 成果简介
　　该项目是利用等离子体化学气相沉积方法，可在钢基上沉积几微米－几十微米厚的TiN、TiC等硬质涂层，用于模具、刀具与特殊要求的零件上，提高使用寿命一倍以上。沉积装置的主要技术指标如下：沉积室（立式水冷）Ф550×700mm；有效尺寸Ф450×500mm；极限真空度：5×10^（-2）托；电源（直流）0-2000V，0-20A连续可调；工件负高压（直流）：-2000/-10V；沉积温度：400-5...
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