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硅片超薄片加工及损伤机理的研究

1996年 应用技术
  • 成果简介
研究提出确定切片时装刀同心度，是造成损伤和影响薄片出片率的关键，内圆刀片圆心应尽量与主轴中心生命，解决了磨液和研磨压力、速度、磨盘转速和沟槽大小载片、研磨参数以及轻微划痕的出现原因与消除等问题，切片成品率95%，磨片成品率94%，国内先进。...
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