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激光镀膜设备

1996年 应用技术
  • 成果简介
激光镀膜是目前国际上薄膜制备的最好方法，可制备高温超导膜、半导体膜、金钢石膜和超导氧化膜。该设备就是在超高真空下制备薄膜的最新工艺设备。它由真空系统、电控部分、机台、真空机组、真空测量系统、激光器等组成。
其主要技术指标为：
1、真空室极限真空：≥6.65×10的负5次方Pa；
2、扫描样品架x、y扫描范围±30mm，频率范围1～...
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