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大面积ZnO透明导电薄膜 MOCVD制备系统

2005年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
1)课题来源与背景:本MOCVD制备系统,是南开大学承担的国际合作项目“新型硅基薄膜太阳电池大面积低成本技术研究-2002DFG00051”、国家重点基础研究发展规划(973)项目《低价、长寿命新型光伏电池的基础研究》02课题和03课题中的主要研究内容之一。提高大面积硅基薄膜太阳电池效率、降低制备成本,是实现太阳电池大规模应用的关键问题。我们在国际上首次自主开发建成大面积(218×218m...
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