首页成果登记
注册 找回密码
国家科技成果网
  		•
热门搜索：  激光   高分子   石油   并网   纳米   太阳能光伏
扫描二维码关注国科网

登记 排行 政策 对接 转化 专栏
国家科技成果网 › 首页 ›成果 › 查看内容

铝、钽、钨、铜及氮化钛等金属纳米磨料CMP技术及其应用的研究

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
①采用高PH值（一般PH值大于10.5）抛光液，实现了抛光高速率、反应产物可溶、易于清洗；
②抛光速率可控，防止设备腐蚀，减少了金属离子的污染；
③按照速率的要求来确定温度；
④利用络合剂解决在碱性介质下氧化物和氢氧化物的沉淀问题，
⑤利用质量传递υ的关系使反应产物迅速脱离表面，增加了高低的选择比和表面的平整度...
相关成果

标签云

相关机构

关于国科网   我们的资源   我们的服务   免责声明   常见问题    软件下载    成果登记   联系我们  
Copyright 2001-2020 All Rights Reserved© 国科网 版权所有
国家科技成果信息服务平台 主管单位：科学技术部火炬高技术产业开发中心
京ICP备09035943号-33 京公网安备110401400097
在线客服系统