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电子级二氯二氢硅的研制

1995年 应用技术
  • 成果简介
电子级二氯二氢硅是一种可与硅烷相比拟的重要电子化工材料，是以CVD法生产硅和硅化物薄膜的理想硅材料。目前国内大规模集成电路生产厂家和科研单位所需电子级二氯二氢硅全部依赖进口，价格昂贵，且供货不及时，大大限制了二氯二氢硅的推广应用。该项目所研制的电子级二氯二氢硅以多晶硅厂的排放物为原料，采用精馏、络合、吸附等提纯制备技术，并建成了年产吨级的试生产装置。产品的主要技术指标：电子级二氯二氢硅纯度...
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