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SPM表面形貌非接触测量仪的研制

1994年 应用技术
  • 成果简介
该测量仪创造性地将微分干涉显微术与相移干涉技术相结合，不仅解决了干涉显微镜型光学轮廓仪对机械振动等环境干扰敏感的问题，而且也解决了微分干涉显微镜不能定量测量的计量测试难题。它具有很强的抗干扰能力，在不使用隔振平台、不采取恒温和密闭等环境控制措施的一般实验室场合下，就能达到优于0.1nm的垂直分辨率和0.18nm的表面轮廓高度重复测量精度，超过了国外先进仪器在采取严格环境控制措施条件下所达到...
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