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球面耐磨层均匀沉积技术及专用工装

2005年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
技术原理:其原理为采用磁过滤弧离子沉积技术,在高精度金属球外球面上,均匀地沉积一层TiN耐磨膜。
创造性: 国内尚无其他单位进行过类似的研制。
先进性: 本项技术的水平,可以由最终形成的装置的性能来间接反映。2005年1月,经过相关的技术鉴定,它的科技水平已达到国外同类产品水平。
技术成熟程度:用本项技术制备的TiN耐磨膜的厚...
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