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高纯金属有机化合物的制备

1994年 应用技术
  • 成果简介
该项成果建立了高纯三甲基铟、三甲基锑和二乙基锌制备装置，可稳定、重复地批量制备50～70克/次产品。技术路线合理、制备方法先进。产品经用户使用表明、与国外同类产品质量相当。上述产品可用于高质量的含In和含Sb化合物半导体的MOCVD生长，填补了国内空白。
该项成果还建立了金属杂质原子吸收分析法、主体含量和有机杂质的GC直接进样分析法、产品定性的IR气体池分析法。...
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