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10立方米/h超纯水设备

1994年 应用技术
  • 成果简介
该装置采用了新结构介质过滤器、管道凝聚新技术，精处理混床新配比，计算机控制系统的编程。装置的产水水质符合ASTME-Ⅰ级电子级电水标准，可满足64K电路生产用水要求。全套设备国产化率大于80%。经运行考核证明：系统稳定可靠，设计合理，可替代同类进口设备。...
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