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a－SiTET矩阵自动测试系统

1993年

应用技术

成果简介

a－SiTFT矩阵是高清晰度彩色液晶显示屏的核心部件。该仪器采用特殊的防漏电及双层屏蔽接地措施，测量数据真实可靠，重复性好；采用了计算机控制，可实现对大量TFT进行自动化测量，并可自动测量转移、输出、漏电等特性以及开启电压、迁移率等参数，还可同时收集、存贮及处理各种数据。该测试系统满足了a－SiTFT10的负十四次方安培电流测量和10μm定位精度的要求，适用于对角线6″以下的TFT矩阵电子...

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