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吸气合金

1993年

应用技术

成果简介

　　以钒铁合金为原料，研制成新型吸气剂锆钒铁三元合金，其工艺技术合理，操作简便，设备和检测手段基本齐全，产品质量可靠，成本比用纯金属为原料制备时低50%。该吸气剂具有激活温度低（500℃）、吸气温度低、吸气速率高等优点，而且能深度地同时除去O_2 、N_2 、H_2 、CO、CO_2和CH_4等多种气体杂质，可将纯度为99.99%的Ar提纯到99.9999%。该产品在电真空器件、微电子、高纯气体制...

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