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紫外负型光刻胶

1993年 应用技术
  • 成果简介
该成果通过对环化工艺控制，改变环化橡胶的分子量及其分布，使其分子量分布变窄，同时对添加剂、显影剂及清洗剂等的组成进行了研究，并通过配制工艺的优化，制成不同品种规格的紫外负型光刻胶。该胶主要用于大规模集成电路、分立器件、电力半导体器件的加工制作。其特点是感光速度快，显影留膜率高、图形边缘整齐，分辨率高，并具有优良的粘附性、抗蚀能力和较好的热稳定性。...
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