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小面积、高效率非晶硅电池

1993年 应用技术
  • 成果简介
　　该成果包括如下内容：
　　1、研制成功我国首台超高真空三室等离子增强化学汽相淀积（PECVD）实验设备。
　　2、完善了非晶硅电池结构方案。
　　3、研制成功了高质量的本征非晶硅膜和p、n单层非晶硅基膜。
　　4、摸索和完善了多室转移连续淀积非晶硅电池的特殊工艺，制定了此类工艺应遵循的基本原则。
　　5、解决了非晶硅电池各异质结界面的...
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