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线列式七室连续沉积设备与系统

1993年 应用技术
  • 成果简介
　　该设备是用辉光放电法制作非晶硅太阳能电池的大型综合设备。它具有多种功能，可沉积各种薄膜材料及器件，广泛应用于大面积光电器件及大尺寸薄膜微电子技术领域。该设备由线列式排列的7个矩形真空室组成，每两室之间的方形法兰采用银丝密封联接及矩形闸板阀隔离密封，整个系统均用不锈钢制造。其最大特点是清除了残余气体的交叉污染，并设有进出片室，可存储5片（20×20平方厘米）样品，在真空条件下实施连续沉积。用该设...
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