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集成电路用砷化镓抛光片产业化

2006年

应用技术

成果简介

企业采用自主创新、独立研发的WLEC法工艺技术进行GaAs单晶生产，使该生产GaAs单晶技术工艺达到世界先进水平，填补了国内空白。最终建设完成年产5万片6英寸砷化镓单晶片的生产线。
项目用途：其产品被广泛用于制造无线通信和光通信器件，半绝缘砷化镓单晶已经成为制造大功率微波、毫米波通信器件和集成电路的主要材料。
推广形式：风险投资。...

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