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一种直拉单晶隔热装料方法及其装置

2016年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　本发明公开了一种直拉单晶隔热装料方法，该方法按照以下步骤具体实施：
　　1）单晶炉拆炉后，将主室炉筒、主保温筒和石墨加热器等炉体及热场石墨器件上的挥发物打扫干净；
　　2）在主保温筒上端面安放隔热大盖；
　　3）将石墨坩埚及石英坩埚依次放置于石墨托杆上，开始装入单晶原料；
　　4）装料完毕后，在石英坩埚上盖上护料盖；
　　5）再将隔热...
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