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具有环境控制功能的典型微纳传感器多参数批量测试设备研发与应用

2016年

应用技术

初期阶段

成果简介

　　随着MEMS技术的迅猛发展，MEMS产品自动化测试的需求越来越大。目前，很多产品投入市场之前未能通过有效的测试手段发现产品中存在的隐患，而只能通过器件在使用过程中出现的问题来检测其加工质量与可靠性，增大了器件的使用成本。这种现状严重阻碍了MEMS传感器在国内市场的规模化应用。
　　面对不断发展的MEMS产业和不断增长的市场规模，本课题针对典型MEMS传感器的批量化检测及测试过程中系...

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