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高保真光学前反射镜

2002年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
　　该成果运用光在不同折射率的介质膜中的传递与反射原理；以优质浮法玻璃为基片，用高折射率的铝作为基层反射材料，以低折射的SiO_2作为中间层和高折射率的TiO_2作为表面层的膜系结构，在两种介质膜的作用下，增加了铝的反射率，提高铝膜的附着力、耐蚀性和耐磨性等品质。该项目使用了先进的中频磁控溅射和气氛隔离系统，及磁控溅射气氛闭环控制系统，解决了在1500mm～2000mm大面积优质浮法玻璃上连续镀制...
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