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电感耦合等离子体化学气相沉积法制备多晶硅薄膜太阳电池

2015年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
本成果采用电感耦合等离子体化学气相薄膜沉积系统制备多晶硅薄膜太阳电池,采用的器件结构为“Glass/ITO/p-Si:H(150nm)/i-Si:H(1um)/n-Si:H(200nm)/ZnO:Al”(1cm×1cm),在标准太阳光谱AM1.5条件下,器件转换效率达10.2%。
本成果是对传统非晶硅薄膜太阳电池技术的一种改进,通过优化光伏转换材料的结晶质量,提高了硅基...
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