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基于图像处理IC形貌建模微观缺陷技术

2015年 基础理论
  • 成果简介
一、课题来源与背景:
随着电子、通讯、信息、光机电设备等产业的迅猛发展,集成电路与IC芯片制造产业迅速成为先进制造技术发展的典型代表及信息产业发展的核心基础。而IC芯片的集成化、精密化以及规模化技术的不断进步和广泛应用,其微观检测技术日益成为决定国家和产业技术竞争力的重要载体。该研究寻找和设计出对IC芯片进行形貌空间模型构建,并进行微观缺陷特征的分析方法和识别手段,因此...
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