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一种宽频带高吸收太赫兹波的微桥结构及其制备方法

2017年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
　　本发明属于室温太赫兹探测阵列成像技术领域，提供一种宽频带高吸收太赫兹波的微桥结构及其制备方法，用于克服太赫兹探测器宽频段下响应率低的问题。该微桥结构包括位于顶层的金属吸收膜、位于中间层的超材料图形、位于底层的MEMS微桥，且两两之间设置氮化硅介质层间隔；所述金属吸收膜为阻抗匹配的纳米级金属吸收薄膜，所述超材料图形与MEMS微桥共同构成超材料吸收结构。本发明中阻抗匹配的纳米级金属吸收薄膜能够实现...
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