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高TCR吸收敏感复合薄膜的THz探测结构及制备方法

2017年

应用技术

成熟应用阶段

成果简介

　　本发明公开了一种基于碳纳米管和高TCR细胞色素C复合的吸收敏感复合薄膜的THz探测结构制备方法。该吸收敏感复合薄膜制备在太赫兹探测结构的顶层。该复合薄膜利用了碳纳米管的特殊光学性质，能显著增强探测结构对THz波段辐射的吸收效率。同时因为细胞色素C具有很高的TCR，与非晶硅，氧化钒，金属钛，钇钡铜氧化物等常用热敏材料相比，细胞色素C具有更高的TCR值，其TCR为20%/K～38%/K，使该复合薄...

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