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四平行柔性铰链精密微位移电感传感器

2015年 应用技术  中期阶段
  • 成果简介
“四平行柔性铰链精密微位移电感传感器” 主要内容为将纳米技术中的柔性铰链技术应用于位移传感器，实现微位移的传感与传递一体化。柔性铰链技术广泛应用于纳米技术中，可实现末端位移完全由结构体自身弹性变形提供，运动范围极其微小，一般可达到立方微米级；可实现单片设计，免予装配；无间隙和摩擦，在一定程度上提高了系统的重复定位精度，减小了精度损失，使传感器可靠性提高，使用寿命延长。免予润滑，避免了污染，...
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