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多晶硅精馏纯化工艺改造

2013年 应用技术  成熟应用阶段
  • 成果简介
精馏工序是多晶硅生产工艺中最核心的技术,因为终极产品多晶硅的纯度就取决于三氯氢硅提纯的程度,而多晶硅的纯度又影响到最终的光伏发电效果。初始原料中的硅粉、氯气,以及各道工序在化学反应中产生的中间产物,含有很多种杂质。在诸多杂质中,影响多晶硅质量的主要包括磷、硼、碳杂质以及氧含量。此项目为解决除去影响多晶硅质量的磷、硼杂质,提高多晶硅质量而立项。该项目将进入精馏装置前的氯硅烷物料先通入除磷硼...
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