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钼靶材的研制

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
我国具有丰富的钼矿产资源，并形成从钼矿开采－钼冶炼－钼制品的较为完整的钼工业体系，但是中国缺乏对用于半导体和光伏产业的钼溅射靶材的基本认识，高纯度材料冶炼技术、深加工技术以及靶材制造技术都无从了解，超高纯钼技术更是相对缺乏，从而限制了我国半导体行业和光伏产业的发展以及半导体产业和光伏的可持续健康发展和经济效益的提高。本成果首先在超高纯钼的精炼及大尺寸铸锭的制备研究；大尺寸超高纯钼靶材的形变...
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