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一种玻璃微流控芯片及制作方法

2012年 应用技术  初期阶段
  • 成果简介
本发明提出了一种玻璃微流控芯片及其制作方法，更确切地说是一种基于SU-8光敏胶做中间层的微流控芯片及制作方法，本发明采用玻璃作衬底材料，SU-8做中间层，芯片制作过程对玻璃表面的平整度不敏感。本方法通过一层稀释的SU-8层实现先光刻显影制得微管
道，再与玻璃盖片直接键合的过程，克服了以往方法先键合，后光刻和显影产生的显影时间不均一，管道不平整的缺点。...
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